1.设备名称：薄膜热电参数测试系统（B-12）

2. 型号：嘉仪通/MRS-3RT

3.厂家：武汉嘉仪通

4.功能：用于测试微纳薄膜材料及薄片的seebeck系数和电阻率,包括金属薄膜、半导体及化合物材料、高分子聚合物等材料。

5.技术参数：

（1）测试气氛：空气

（2）seebeck系数：S ≥ 8µV/K； 电阻率：0.1µΩ•m ~ 1000KµΩ•m；

（3）分辨率：seebeck系数0.05µV/K； 电阻率0.05µΩ•m

（4）相对误差：seebeck系数≤ ±7%，电阻率≤ ±5%；

（5）样品尺寸：长×宽 (10-18)×(4-14)mm2，薄膜厚度：50nm~2mm；

联系人：周老师（wuxingzhou@hnu.edu.cn）